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    • 专利摘要:

    公开号:WO1988005179A1
    申请号:PCT/JP1987/001035
    申请日:1987-12-25
    公开日:1988-07-14
    发明作者:Asaaki Yamashita；Kiyoto Mori；Tsugio Saito；Shiro Shimauchi
    申请人:Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha；
    IPC主号:G03F7-00
    专利说明:
    [0001] 明 レ ジ ス 卜 組成物を回収、 再使用す る た め の 方法お よ び装置 本発明は、 レ ジ ス ト 組成物を シ リ コ ン ゥ ヱ ハ ー上に塗 布 し て 薄膜 を 形成 さ せ る 際 に 、 ス ピ ン ナ 一 よ り 飛散 し て 、 シ リ コ ン ウ ェ ハ 一上 に使用 さ れな い こ と と な っ た レ ジ ス ト 組成物の回収な ら びに そ の再使用 に関す る 。
    [0002] 田
    [0003] さ ら に詳 し く 言え ば、 本発明 は上記の よ う に使用 さ れ ずに飛散 し た レ ジ ス ト 組成物を回収 し 、 そ れを再使用 に 提供す る た め の方法お よ び装置 に関す る c
    [0004] レ ジ ス ト 組成物は、 半導体工業、 印刷工業等で大量 に 使用 さ れて い る 。 例え ば i Cを製作す る 上で レ ジ ス ト 組成 物は例 え ば ス ビ ン コ一テ ィ ン グ技法に よ り シ リ コ ン ゥ ェ ハ ー上 に ス ピ ン ナ 一等を用 いて塗布 し薄膜を形成 さ せ る た め に使用 さ れて い る が、 こ の技法で シ リ コ ン ウ エ ノ、 一 上 に塗布す る 際に、 使用す る レ ジ ス ト 組成物の 9 0 %以 上 は シ リ コ ン ウ ェ ハ ー上に は塗布 さ れずに飛び散 り 、 全 く 使用 さ れずに廃液 と な る 。 そ し て、 こ の廃液 は、 集め ら れて産業廃棄物処理業者 に依頼 し廃棄処理 さ れて い る のが現状であ る 。 本発明者 ら は、 資源の有効利用 の観点 か ら こ の廃液処理 さ れ る レ ジ ス ト 組成物を回収 し 、 再使 用す る た め の方法お よ び装置 に つ き 、 種 々 研究 し た結 ¾ 本発明 に よ り 、 上記の レ ジ ス ト 組成物の廃液を回収 し 、 再使用す る た め の方法な ら びに装置を提供す る こ と に成 功 し た ,： ― すなわち、 本発明は、 シ リ コ ン ウ ェハ一上に塗布する に あ た っ て 、 飛散 した レ ジ ス ト組成物を回収 し、 再使用 する こ と を可能にす る下記の如 き方法および装置を提供 す る も のであ る c
    [0005] 本発明の方法は、
    [0006] ① ス ピ ン ナ 一 よ り 飛散 し た レ ジ ス ト 組成物を収集 し、
    [0007] ② そ の レ ジ ス ト 組成物を恒温条件に維持さ れ た回収 槽に導き、
    [0008] ③ そ の回収槽に お いて 、 そ の回収さ れた レ ジ ス ト組 成物の粘度を測定 し、
    [0009] ④ 上記の粘度測定結果に従 っ て、 そ の レ ジ ス ト 組成 物が所定の粘度を示すに至る ま で溶剤を回収槽に導 入 し、
    [0010] そ の レ ジ ス ト組成物の粘度が所定の粘度に達 した と き に 、 溶剤の供給を停止 し、
    [0011] ⑥ 所定の粘度に達 した レ ジ ス ト組成物を聍蔵槽に移 送 し、
    [0012] S 必要時に、 そ の レ ジ ス ト組成物を貯蔵槽よ り シ リ コ ン ウ ェハ一塗布に再使用する ために塗布室へ回送 す る
    [0013] こ と よ り な る 。
    [0014] 本発明は、 ま た、 上記の方法に使甲する ため の装置を 提供す る も の であ る - 本発明の装置 は、 下記 a；)〜 e )の手段お よ び経路を 備え て い る こ と を特徴 と す る レ ジ ス ト 組成物の回収槽 ょ り な る 。
    [0015] a ) 恒温条件 に維持す る た め の手段
    [0016] b ) 導入 さ れた廃液 と し て の レ ジ ス ト 組成物 （ ス ピ ン ナ 一 か ら飛散 し て使用 さ れな か つ た組成物） の粘度 を剃定す る た め の手段
    [0017] c ) 上記の組成物の粘度を測定 し た結果、 そ の粘度が 所定の粘度よ り 高い と き に、 補給 さ れ る 溶剤を供給 す る た め の通路の弁が開かれ粘度が所定の粘度 に達 し た と き に、 前記の弁が閉 じ る よ う に粘度測定手段 に よ る 測定結果が弁の開閉に伝達 さ れ る よ う な 伝達 手段
    [0018] d ) 廃液 と し て回収 し た レ ジ ス ト 組成物を導入す る 経 路お よ び
    [0019] e ) 所定の粘度 に達 し た レ ジ ス ト 組成物を排出す る絰 路
    [0020] 本発 明 の方法 お よ び装置 を以下 に 添付図面 を参照 し て 、 詳細 に説明す る 。
    [0021] 添付の第 1 図は、 本発明の方法お よ び装置を概念的に 表示 し た図であ る 。
    [0022] 図面 に お いて 、 1 は、 シ リ コ ン ウ ェ ハ ー に薄膜を形成 さ せ る た め の レ ジ ス ト 組成物 の ス ピ ン ナ 一 に よ る 塗布室 であ る c 塗布室 に お い て レ ジ ス ト 組成物を シ リ コ ン ゥ ェ ハ ー に塗布す る 際、 ス ピ ン 十 一 に よ り 飛散 し て ウ ェ ハ ー 上に使用 さ れなか っ た レ ジ ス ト 組成物 （以下、 廃液組成 物と い う ） は、 集め られて、 予備回収槽 2 に導かれる。 次に、 予備回収槽 2か ら廃液組成物は、 回収槽 3 に導か れ る 。 回収槽 3 は、 恒温条件 に維持す る た め の手段 6 と、 廃液組成物の均質化な ら びにその粘度を経常的に測 定する ための手段 4 を備えてお り 、 粘度測定手段 4 は、 廃液組成物の粘度の高低に応 じて、 溶剤供給槽 5か ら の 溶剤の供給を制御す る弁 5 ' が開閉 さ れる よ う に、 粘度 測定の結果を電気的信号に よ り 弁の開閉手段に伝達す る 手段に よ り 弁の開閉手段と連動 し、 回収槽 3 内の廃液組 成物の粘度が所定の粘度よ り 高い と き に弁 5 ' が開いて 溶剤が供給され、 廃液組成物の粘度が所定の粘度に達 し た と き に弁 5 ' が閉 じて、 溶剤の供給が停止される よ う にな っ てい る。 ま た回収槽 3 に は、 好ま し く は、 組成物 の温度を測定する ための温度計 8 が備え られてい る。
    [0023] 本発明において レ ジ ス ト組成物は、 溶剤に溶解 した感 光性樹脂を包含する半導体工業や印刷工業において汎用 の レ ジ ス ト 組成物を意味 し、 こ の組成物の樹脂成分と し ては一般に市販されている ネ ガ型フ ォ ト レ ジス ト 、 ポ ジ 型フ ォ ト レ ジ ス ト な ら びに電子線、 X線 レ ジ ス ト であ り 、 例えば OMR- 83および - 85 (東京応化工業） 、 CIR- 701およ び - 707、 C B R - M 901 (日本合成ゴム） 、 K Mト 747 (長瀬産 業） な らびに ' A Y C 0.¾ T I C - T 3および S C (冨士ハ ン ト） な どの ネ ガ型フ ォ ト レ ジ ス ト ： 0FPR- 800お よ び -oOOOsTSMR - 8800 (東京応化工業） 、 PF K - 3600および - 3003 B (日本 合成 ゴ ム ） 、 XPR- 809お よ び - 820 (長瀬産業） 、 HPR- 204 (富士ハ ン ト ） な ら びに M P R - 1350 Jおよ び- 111 ( シプレ ィ 社） な ど の ポ ジ型 フ ォ ト レ ジ ス ト ； さ ら に C M S (東 ソ ） 、 M E S ( 日本合成ゴ ム ） 、 E B R - 9 (東 レ ） な ら びに 0 EBR - 1000 (東京応化工業） な どの電子線、 X線 レ ジ ス ト が挙げ ら れ る 。
    [0024] ま た こ れ ら樹脂成分の溶剤 と し て は、 樹脂成分の種類 に応 じ て グ リ コ 一 ル ェ 一 テ ル 、 グ リ コ ー ル エ ー テ ル エ ス
    [0025] 5
    [0026] テ ル 、 芳香族炭化水素、 ケ ト ン 、 ヱ一テ ル 、 脂肪酸、 ァ ル コ 一 ノレ 、 エ ス テ ル 、 ラ ク ト ン等力'用 い ら れ る 。 適当 な 溶剤 と し て は、 例 え ば、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ノレ エ ー テ ル ( メ チ ル セ ロ ソ ノレ ブ ) 、 ジ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル ェ 一 テ ル 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル ェ ー テ ノレ ( ェ チ ル セ 口 ソ ル ブ ) 、 ジ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ エ チ ル ェ 一 テ ル 、 ジ エ チ レ ン グ リ コ ー ノレ ジ ブ チ ノレ エ一 テ ル等の グ リ コ 一 ル エ ー テ ル類、 メ チ ル セ 口 ソ ノレ ブ ァ セ テ ー ト 、 ェ チ ル セ 口 ソ ル ブア セ テ ー ト 、 ブチ ル セ 口 ソ ル ブア セ テ ー ト 等のセ ロ ソ ル ブエ ス テ ル類、 ト ル エ ン 、 キ シ レ ン等の芳香族炭化水素類、 メ チ ル ヱ チ ル ケ ト ン 、 メ チ ル イ ソ ブ チ ル ケ ト ン 、 シ ク ロ へ キ サ ノ ン 、 ァ セ ト ニ ル ア セ ト ン 、 ァ セ ト フ エ ノ ン 、 イ ソ ホ ロ ン等の ケ 卜 ン類、 ベ ン ジ ル ェ チ ル ェ 一 テ ル 、 1， 2 — ジ ブ ト キ シ ェ タ ン 、 ジ へ キ シ ル エ ー テ ル等の エ ー テ ル ¾、 カ プ ロ ン 安、 カ プ リ ル 酸等の脂肪酸類、 1 — ォ ク 夕 ノ ー ル 、 1 ー ノ ナ ノ ー ル 、 1 — デ カ ノ 一 ル 、 ベ ン ジ ル ア ル コ ー ル等の ァ ル コ ー ル類、 酢酸ェ チ ル 、 酢酸ブチ ル、 2 — ェ チ ル へ キ シ ル ァ セ テ 一 ト 、 酢酸ベ ン ジ ル 、 安息香酸ベ ン ジ ル、 し う 酸 ジ ェ チ ル、 し ゅ う 酸 ジブチ ル、 マ ロ ン酸 ジ ェ チ ル 、 マ レ イ ン酸 ジ ブチ ル 、 マ レ イ ン酸 ジェチ ル 、 フ タ ル酸 ジ メ チ ル、 炭 酸エ チ レ ン 、 炭酸プ ロ ピ レ ン等のエ ス テ ル類、 ァ ー ブチ ロ ラ ク ト ン等の ラ ク ト ン類が挙げ ら れる 。
    [0027] こ れ ら の溶剤は単一であ っ て も よ く 、 ま た組台わせて 使用する こ と がで き 、 ネ ガ型 フ ォ ト レ ジ ス ト に はキ シ レ ン の よ う な炭化水素系溶剤の使用が好ま し く 、 ま た ポ ジ 型 フ ォ ト レ ジ ス 卜 に は 2 — ェ ト キ シ ェ チ ル ァ セ テ ー ト (セ ロ ソ ルブア セ テ ー ト ） 単独ま た は こ れ と キ シ レ ン 、 酢酸ブチ ル と の混台溶剤の使用が好ま し い。 ま た最近セ 口 ソ ル ブ系溶剤の 人体の健康に対す る 影響が問題 と な つ てお り 、 各種混合溶剤の使用が提案さ れてい る 。
    [0028] レ ジ ス ト組成物に お け る こ れ ら有機溶剤の使用量は 、 種類の条件、 例えば樹脂成分の種類、 濃度、 必要 と さ れ る レ ジ ス ト の膜厚等に よ り 異 り 、 特定す る こ と はで き な い。 一例 と して樹脂成分 と して ポ ジ型フ ォ ト レ ジ ス ト を 用 い る レ ジ ス ト 組成物に おいて、 一般的に樹脂成分 1 0 0 重量部に対 して溶剤は 1 0 0〜 2 0 0 0重量部、 好適に は 3 0 0〜 1 5 0 0重量部の割台であ る 。
    [0029] 上記の処理に使用 さ れ る溶剤は、 最初に シ リ コ ン ゥ ェ ハ ー上に薄膜を形成す る た め に使用 さ れ る レ ジ ス ト 組成 物で用 い ら れて い る単一ま た は混台溶剤 と 、 そ の種類ま た は組成は同一の も の であ り 、 上記の所定の钻度 と は、 上記の最初 に使用す る レ ジ ス ト 組成物の粘度を意味 し て い ·σ 0
    [0030] 上記の回収槽 3 に お い て 、 粘度の調整を了 え て 、 所定 の粘度を有す る に至 っ た レ ジ ス ト 組成物は 、 貯蔵用 タ ン ク 7 に導かれ、 再使用す る た め に貯蔵 さ れ る 。 こ の組成 物は貯蔵用 タ ン ク 7 か ら 、 随時、 使用の要求 に応 じ て、 フ ィ ル タ 一 1 1を通過せ し めて、 組成物中 に存在す る こ と の あ る 好 ま し く な い微粒子な ど を除ま し た後、 再び シ リ コ ン ウ ェ ハ ー塗布用 と し て塗布室 】 へ回送 さ れ る 。 貯蔵 用 タ ン ク は、 必要 に応 じ 、 好 ま し く は、 複数個 （ 7 ' で 表わす） 設け ら れ る 。
    [0031] 上述の予備回収槽 2 は、 本発明の方法お よ び装置に お いて必須の も の で は な いが、 本発明方法の連続操業を可 能にす る 範囲 に お いて設け て お く こ と が好 ま し い 0. 回収 槽 3 に導入 さ れ る 廃液組成物の量 は、 秤量計 9 に よ り 調 整 さ れ る 。 秤量計 9 と し て は、 通常、 液体の容量を 定 す る 際に使用 さ れ る 液面セ ン サ 一 、 静電セ ン サ 一 な ど、 電気的に そ の液量を感知す る 装置が好ま し い。 そ の秤量 計 9 に よ る 感知 に よ り 、 認識 さ れた量は電気信号 と し て 伝達 さ れ、 予備回収槽 2 か ら 回収槽 3 への廃液組成物の 移送が制御 さ れ る 。
    [0032] 廃液組成物の移送量を調整す る た め に 、 さ ら に別の予 備回収槽 2 'を設けて お いて も よ い。
    [0033] 回収槽 3 内に お いて、 廃液組成物は 、 恒温維持手段 6 に よ り 、 一定温度 に保持 さ れ る ：. こ の恒温維持手段 6 と しては通常は、 電気的手段に よ り 回収槽 3 内を恒温に維 持する ための手段が用い られる。 恒温に維持された廃液 組成物は、 粘度測定手段 4 によ り 、 連統的にその粘度が 測定さ れ る 。 測定さ れた粘度に従い、溶剤供給用の弁 5 ' が開閉する よ う に、 例えば回転粘度計を使用す る粘度測 定手段 4 と それによ り 得られる測定結果を電気的信号に よ り 弁 5 ' の開閉手段に伝達す る手段とが連動されてい る。 塗布作業に使用 さ れた後に回収さ れた上記の廃液 組成物は、 溶剤が蒸散 して、 粘度が高 く な つ てい る も の であ る ので、 これに溶剤を加え、 原の レ ジ ス ト 組成物の 粘度と同一の も の にす る ために、 新たな溶剤が、 回収槽 3 に供給さ れる。 溶剤の種類および組成の処方は、 原の レ ジ ス ト組成物におけ る溶剤の組成処方に応 じて決め ら れる。 回収槽內の廃液組成物の粘度が原の レ ジス ト 組成 物の粘度に達 し た と き に、 粘度測定手段 4 か ら の信号が 弁の開閉手段に伝達され、 弁 5 'が閉 じて、 溶剤の回収 槽 3 への供給が停止される。 上記において、 本発明方法 におけ る系中の レ ジス ト組成物あ る いは廃液組成物又は 溶剤の移動は、 通常、 こ れ ら の移送に用い られてい る手 段例えば、 ポ ンプ 1 0 を用い る か又は、 窒素ガス によ る 圧送な どの方法が適宜選択 して行う こ と に よ り達成され る。 回収槽 3 内において粘度が調整さ れた後の レ ジ ス ト 組成物は、 貯蔵タ ン ク （ 7 , 7 ' ) に移送さ れ、 再使用の ために貯蔵さ れる o
    [0034] 本発明の方法および装置に よ り 、 ス ピ ンナ 一 によ る コ — テ ィ ン グ の際に、 飛散 し た レ ジ ス 卜 組成物は 、 廃棄 さ れ る こ と な く 、 ほ と ん どすべてが回収 さ れ、 そ の粘度を 調整す る こ と に よ り 、 所定の配合処方の レ ジ ス ト 組成物 に再生 さ れ る 。 し たが っ て、 本発明は、 資源の有効利用 と と も に省力化、 コ ス ト の低減な ど に極めて優れた成果 を も た ら す も のであ る 。
    权利要求:
    Claims

    . レ ジ ス ト組成物を シ リ コ ン ウ ェ ハ ー 上 に塗布する際 に ス ビ ンナ一 よ り 飛散 して使用 されずに廃液 と される レ ジ ス ト組成物を収集 し、 そ の レ ジ ス ト組成物を恒温 条件に維持された回収槽に導き、 回収槽においてそ の レ ジ ス ト組成物の粘度を測定 しながら、 そ の測定さ れ 求
    た粘度に応 じて、 そ の レ ジ ス ト組成物が所定の粘度を の
    示すに至る まで溶剤を回収槽に導入 し、 そ の レ ジ ス 卜 組成物の粘度が所定の粘度に達 した と き に、 溶剤の供 給を停止 し、 所定の粘度に達 した レ ジ ス ト組成物を貯 蔵槽に移送 し、 そ の貯蔵槽か ら、 必要時にそ の レ ジ ス ト組成物を再使用する ために取り 出す こ とか らな る こ と を特徴とする レ ジ ス ト組成物の回収、 再使用方法。 . シ リ コ ン ウ ェ ハ ー上の塗布に使用 した レ ジ ス ト組成 物の回収槽であ つ て、
    a ) その槽内の温度を恒温に維持す る ための手段と b ) そ の槽内に導入された レ ジ ス ト 組成物の粘度を測 定する た め の手段と
    c ) その回収槽に溶剤が供給されるための溶剤導入路
    d ) レ ジ ス ト組成物を導入する ための通路と
    e) レ ジ ス ト 組成物を排出す る ための通路と
    f ) 上記 b )の粘度測定手段によ り 粘度が測定さ れた結 果、 そ の粘度が所定の粘度よ り 高い と き に、 上記 c ) の溶剤導 人路が開 き 、 そ の粘度が所定の粘度 に達 し た と き に、 上記 c )の溶剤導入路が閉 じ る よ う にす る た め の手段
    と を備えて な る こ と を特徴 と す る レ ジ ス ト 組成物の回 収槽。
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
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    EP0296249A1|1988-12-28|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1988-07-14| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): KR US |
    1988-07-14| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): DE FR GB NL |
    1988-08-24| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1988900587 Country of ref document: EP |
    1988-12-28| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1988900587 Country of ref document: EP |
    1994-08-31| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1988900587 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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